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深圳市大精拋光設備有限公司


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硅片研磨拋光機

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品       牌

廠商性質其他

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聯(lián)系方式：王先生 高小姐查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-11-14 15:30:43瀏覽次數(shù)：385次

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聯(lián)系人：王先生 高小姐

產品簡介

硅片研磨拋光機

詳細介紹

高精密硅片研磨機產品說明：

圓柱硅片拋光機主要用途：該機主要適用用各種大尺寸硅片及晶體材料的拋光。

圓柱硅片拋光機工作原理：本系列硅片拋光機由四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉來達到拋光的目的。

圓柱硅片拋光機，硅片拋光機特點：

1.本系列拋光機的吸附盤由四臺單獨的電機驅動、速度與壓力可調。

2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術，系統(tǒng)的響應速度更快、更精確，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護的功能；

3.本系列拋光機運行平穩(wěn)，拋光后的產品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內，粗糙度可達到0.0005mm。

圓柱硅片拋光機設備規(guī)格：

型   號

YM-18A

YM-24A

YM-36A

YM-48A

拋光盤規(guī)格

φ460*φ140

φ610*φ200

φ910*φ300

φ1220*φ400

拋光尺寸

φ150mm

φ200mm

φ300mm

φ450mm

拋光后平面度

±0.5u以內

±0.7u以內

±1u以內

±1u以內

工件平行度（25mm）

±1u以內

±1.5u以內

±2u以內

±2u以內

工件粗糙度

0.4nm以內

0.4nm以內

0.4nm以內

0.4nm以內

拋光盤電機功率

2.2kw 3相380V

3.7kw  3相380V

7.7kw  3相380V

11kw  3相380V

拋光盤轉速

0~120rpm

0~100rpm

0~80rpm

0~60rpm

外形尺寸

700*1100*1100mm

950*1200*2200mm

1200*1400*2300mm

1500*1700*2400mm

重量

960kg

1800kg

2600kg

4500kg


關鍵詞：拋光機
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