真空法蘭球閥 - 氣動(dòng)球閥 (雙動(dòng))
air to open, air to close
閥尺寸: 1" to 2"
法蘭：KF(NW)
壓力范圍： 2atm ~ 1x10-4 Torr
泄漏率: 9x10-7 mbar.l/s
材質(zhì)：316S.S. , PTFE
溫度 ：Cylinder 80°C / Body 150°C
空氣壓縮連接頭: KF25-2x 1/8"NPT , KF40~KF50-2x 1/4"NPT
選項(xiàng)：限位開關(guān)，電磁閥 電磁品牌：日本KANEKO，中國(guó)臺(tái)灣XINWYANG，美國(guó)ASCO
氣動(dòng)執(zhí)行器：氣動(dòng)執(zhí)行器分為雙作用式和單作用式(彈簧復(fù)位)，兩個(gè)分體氣缸，雙活塞，拔叉式傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，容易制造大尺寸缸體，輸出扭矩大，動(dòng)作靈活平穩(wěn);氣缸體內(nèi)壁和活塞軸鍍硬鉻，有很好的抗磨性；所有滑動(dòng)部件之司配有無油潤(rùn)滑軸承和導(dǎo)間壞以降低摩擦系數(shù)，延長(zhǎng)使甩壽命。
兩位五通電磁閥通常與雙作用氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)配套使用，兩位是兩個(gè)位置可控：開-關(guān)，五通是有五個(gè)通道通氣，與氣源連接，兩個(gè)與雙作用氣缸的外部氣室的進(jìn)出氣口連接，兩個(gè)與內(nèi)部氣室的進(jìn)出氣口接連，具體的工作原理可參照雙作用氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)工作原理。
Model No. | KF50BV151P2 | KF40BV130P2 | KF25BV107P2 |
Parts No. | 3201143101133 | 3201133101133 | 3201113101133 |
A | 246 | 216 | 173 |
B | 151 | 130 | 107 |
C | 99 | 88 | 71 |
D | 51.5 | 48 | 41.5 |
Connector | KF50 | KF40 | KF25 |
Size | 2" | 1.5" | 1" |
Htc真空提供中國(guó)臺(tái)灣區(qū)最完善的真空閥門維修
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可維修應(yīng)用于各種制程的真空閥：
CVD / PVD / Etch
可維修安裝于各廠牌設(shè)備的真空閥：
AMAT / TEL / Varian / LAM / EATON
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