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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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3軸機械臂防水3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-12 08:20:48瀏覽次數(shù):61次

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產品簡介

防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點:防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列(配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構)在保護等級IP64LSI半導體生產工藝條件下

詳細介紹

防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點: 


防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列(配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構)

在保護等級IP64 LSI半導體生產工藝條件下,能夠在酸性,堿性環(huán)境下搬運半導體晶圓

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關節(jié)部位防水結構使用V型密封圈

零件之間的結合面采用Viton材質的密封條

Z軸的防水結構可以使用蛇腹管

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式

可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指


防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂基本參數(shù)


使用環(huán)境

潔凈間內的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達距離

312mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)

升降軸行程

200mm / 300mm

可搬運質量

3kg以下 (手臂第3關節(jié)處基準)




如需詳細產品參數(shù) 請聯(lián)系我們


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