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漢鐘PS系列干式螺桿真空泵

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更新時間：2022-12-27 14:23:23瀏覽次數(shù)：2067次

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武漢凱芯通半導體技術有限公司

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產(chǎn)品簡介

漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子 (圖一)，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。

詳細介紹

漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子 (圖一)，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力可達7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 產(chǎn)品特色

1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準
干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的壽命。
2. 密封馬達安全性高
真空泵浦亦全面采用線型設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉(zhuǎn)溫度增加馬達的壽命外，也可避免制程氣體外漏的風險。
3. 微電腦控制保護周全
真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求之產(chǎn)業(yè)。

干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) S/N 型
干式螺旋真空泵浦 S／N型為無罩式的干式螺旋真空泵浦機型。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的型號有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有：
抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min
壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
監(jiān)控系統(tǒng)，預防真空泵浦不正常停機
變頻及人性化操控界面
適用于一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業(yè)應用

機型	適用行業(yè)
PS-80-N PS-160-N PS-180-N PS-602-N PS-902-N PS-1302-N PS-1802-N	一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業(yè)應用
PS-80-S PS-160-S PS-180-S PS-602-S PS-902-S PS-1302-S PS-1802-S	一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業(yè)應用

干式螺旋真空泵浦 A／H型為有罩式的干式螺旋真空泵浦機型。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的型號有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有：
抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min
壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
整合式氮氣加熱系統(tǒng)，減少氣體沉積，延長保養(yǎng)周期及壽命
監(jiān)控系統(tǒng)，預防真空泵浦不正常停機
適用于半導體、TFT-LCD、LED等光電產(chǎn)業(yè)、太陽能、熱處理應用

機型	適用行業(yè)
PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A	半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產(chǎn)業(yè)。
PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A	半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產(chǎn)業(yè)。

PS1302 HANBELL 漢鐘干式螺旋真空泵

漢鐘PS系列干式螺桿真空泵主要特點：
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能
Hanbell干式螺桿真空泵，轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結構簡單，故障率低，維護容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉(zhuǎn)子相互嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠端監(jiān)控，保護周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對泵應用狀態(tài)進行調(diào)整，在真空泵產(chǎn)生問題前進行預防保養(yǎng)。遠端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場就能夠了解真空泵的運行狀態(tài)。

漢鐘螺桿真空泵典型應用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery

機型Model	單位Unit		PS80	PS160	PS180
抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz)	l/min		1300/1600	2150/2600	2500/3000
	m³/hr		80/96	140/156	150/180
	Cfm		48/57	82/92	88/105
壓力 Ultimate Pressure	Torr		≤7.5*10^-3
	mbar		≤1*10^-2
	Pa		≤1
馬達 Motor	頻率Frequency	Hz	50/60
	電壓Voltage	V	220-440
	額定功率 Rated Power	Hp	4	6	6
		kW	2.98	2.98	2.98
連接 Connection	進氣口Inlet		NW50
	排氣口Outlet		NW40
冷卻水 Cooling Water	流量Min. Flow	l/min	3-7
	溫度temperature	℃	18-30
	壓力Pressure	Mpa	0.2-0.4
	接頭Connection		RC 3/8"
氮氣 N2	壓力Purge Pressure	MPa	0.15-0.2
	流量Purge Flow	Slm	0-60
	接頭Connection		Swagelok 1/4"
尺寸Dim.	長×寬×高L×W×H	mm	814380663	895405678	920425650
重量Weight	Kg		450	300	320
噪音Noise	dB(A)		≤68	≤70	≤70
系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate	mbar.l/s		1*10^-5
室溫操作范圍Operation Temp.	℃		5-40
操作濕度Operation Moisture	RH		90%以上