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光譜橢偏儀SE800

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光譜范圍:350nm-850nm可選:280nm-850nmSE800是采用快速二極管陣列探測(cè)器的高性能光譜橢偏儀,在紫外/可見光范圍內(nèi)兼具快速數(shù)據(jù)采集速度和全光譜范圍分辨率

詳細(xì)介紹

光譜范圍:350 nm - 850 nm 

可選: 280 nm - 850 nm 

SE 800是采用快速二極管陣列探測(cè)器的高性能光譜橢偏儀,在紫外/可見光范圍內(nèi)兼具快速數(shù)據(jù)采集速度和全光譜范圍分辨率。 

光譜橢偏儀SE 800適用于復(fù)雜應(yīng)用,比如測(cè)量玻璃上的透明薄膜,發(fā)光體和半導(dǎo)體聚合物薄膜,吸收/透明基底上的多層膜,窗材料的減反射膜,的微電子應(yīng)用比如SOI,高k值和低k值材料。各向異性樣品和非均勻樣品也能夠被分析。

 

主要特點(diǎn)

步進(jìn)掃描分析器工作方式,對(duì)較低光強(qiáng)也同樣有效

消色差補(bǔ)償器在整個(gè)0-360度范圍內(nèi)都可極準(zhǔn)確和精確地測(cè)量出橢偏角度。能夠分析偏振因數(shù)和補(bǔ)償退偏效應(yīng)

起偏器跟蹤技術(shù)可以為每一種應(yīng)用都提供的測(cè)量精度

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡用于樣品傾斜度調(diào)節(jié),顯微鏡用于樣品高度調(diào)節(jié),能夠提供的樣品對(duì)準(zhǔn)精度

高穩(wěn)定性的操作,所有硬件操作由其內(nèi)置的微控制器分別控制,基于Windows XP系統(tǒng)的型電腦

SpectraRay II – 功能強(qiáng)大的光譜橢偏儀軟件 

 

主要應(yīng)用 

測(cè)量單層膜或多層膜的厚度和折射率

在紫外-可見光波段測(cè)量材料的光學(xué)性質(zhì)

測(cè)量厚度梯度

測(cè)量膜表面和界面間的粗糙程度

確定材料成分

分析薄金屬膜

分析各向異性材料和薄膜

CER – 結(jié)合橢偏測(cè)量和反射測(cè)量

CET – 結(jié)合橢偏測(cè)量和透射測(cè)量 

 

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