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全自動(dòng)光譜橢偏儀：PH-ASE

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全自動(dòng)光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來(lái)，樣品對(duì)準(zhǔn)是為了保證橢偏儀測(cè)量的可重復(fù)性和精確性

詳細(xì)介紹

                 
  
    全自動(dòng)光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來(lái)，樣品對(duì)準(zhǔn)是為了保證橢偏儀測(cè)量的可重復(fù)性和精確性。已獲得的自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進(jìn)行地貌圖測(cè)量，包括翹曲晶片。
 
 產(chǎn)品特點(diǎn)：
 ■ 全自動(dòng)樣品校準(zhǔn)
 ■ 高測(cè)量速率 < 8秒
 ■ 消除了全波段范圍內(nèi)的盲點(diǎn)
 ■ 可測(cè)量透明和吸收基底
 ■ 高測(cè)量精度
 ■ 具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
 ■ 友好的軟件界面，強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析功能
 ■ 具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
 
 技術(shù)指標(biāo)：
 ■ 光源：氙燈
 ■ 光斑直徑：1-3mm
 ■ 入射角范圍：20°到90°自動(dòng)控制
 ■ 波長(zhǎng)范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
 ■ 波長(zhǎng)精度：1nm
 ■ 測(cè)量時(shí)間: < 8s （取決于測(cè)量模式和粗糙度）
 ■ 入射角度精度：0.01
 
 可選配：
 ■ CCD線陣列探測(cè)元件：200-850nm，350-1000nm
 ■ 樣品顯微鏡
 ■ 高穩(wěn)定性消色差補(bǔ)償器
 ■ 透射測(cè)量架
 ■ XY移動(dòng)樣品臺(tái)
 
 典型客戶：
 美國(guó)，歐洲，亞洲及國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能及半導(dǎo)體客戶。