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FTZKDM-998多功能真空鍍膜機

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更新時間:2023-03-03 16:45:54瀏覽次數(shù):288次

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產(chǎn)品簡介

真空鍍膜技術(shù)基片升溫低,沉積速率高為主要特點,該沉積工藝在電導(dǎo)膜、光學(xué)膜、保護膜、裝飾膜等諸多方面都有廣泛應(yīng)用

詳細介紹

  真空鍍膜技術(shù)基片升溫低,沉積速率高為主要特點,該沉積工藝在電導(dǎo)膜、光學(xué)膜、保護膜、裝飾膜等諸多方面都有廣泛應(yīng)用。本設(shè)備是集磁控濺射和弧源為一體較為*的生產(chǎn)設(shè)備,可生產(chǎn)不同規(guī)格的金屬膜產(chǎn)品。

 

主要技術(shù)指標:

  01、整機外形尺寸:3200×1600X2438mm(長×寬X高)

    真空室外形尺寸:Φ998×700mm(有水冷)

  02、極限真空度:6.7×10-4 Pa

  03、恢復(fù)真空度:清潔空爐由大氣抽至6.7×10-3 Pa≤30 min

  04、壓升率:6 Pa/ h(清潔空爐)

  05、功率:             

    磁控源電源功率:10KVA

    弧電源功率:3KVA

  06、矩形磁控靶材尺寸:384×131×12mm

  07、弧源靶材尺寸:φ100×70mm

  08、烘烤溫度:0~500 ℃

  09、冷卻水 :流量: 20~35 L / min

  10、充氣系統(tǒng):質(zhì)量流量計3路顯示

關(guān)鍵詞:質(zhì)量流量計
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