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EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

聯(lián)系方式：卜先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-07-30 16:18:05瀏覽次數(shù)：361次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：4條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：卜先生

產(chǎn)品簡介

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)基本功能：研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝

詳細(xì)介紹

  EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)基本功能：研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝。

一、 簡介

  EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)在單室設(shè)計上可以滿足研發(fā)工作，與EVG的自動化系統(tǒng)兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓，可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG*的OmniSpray涂層技術(shù)，在3D結(jié)構(gòu)晶圓上實現(xiàn)光刻膠或聚合物的共形層，用于互連技術(shù)。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗，同時改善了均勻性并防止了擴(kuò)散。

二、EVG101勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

  1）晶圓尺寸：高達(dá)300mm(12寸)

  2）支持模式：旋涂/ OmniSpray®/生長

  3）晶圓支撐模式：單臂/雙EE/邊緣/翻動

  4）分配模式：

  - 各種分配泵，可覆蓋高達(dá)52000cP的各種粘度

  - 恒壓分配系統(tǒng)

  - EBR / BSR /預(yù)濕/碗洗/液體灌注

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)噴涂結(jié)果

圖1 噴涂結(jié)果

三、EVG101勻膠機(jī)特征：

  1）晶圓尺寸可達(dá)300 mm

  2）自動旋涂或噴涂或使用手動晶圓裝載/卸載進(jìn)行顯影

  3）利用從研究到生產(chǎn)的快速簡便的過程轉(zhuǎn)換

  4）成熟的模塊化設(shè)計和標(biāo)準(zhǔn)化軟件

  5）注射器分配系統(tǒng)，用于利用小的光刻膠體積，包括高粘度光刻膠

  6）占地面積小，同時保持高水平的個人和過程安全性

  7）多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言)

  8）選項：

  - 采用OmniSpray®涂層技術(shù)均勻涂覆晶圓的高表面形貌

  - 用于后續(xù)鍵合工藝的蠟和環(huán)氧樹脂涂層

  - 旋涂玻璃(SOG)涂層

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)噴涂結(jié)構(gòu)

圖2 噴涂形成的金屬結(jié)構(gòu)


關(guān)鍵詞：勻膠機(jī)
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