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臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000系列

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產(chǎn)品簡介

● 高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型?！?是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)，針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇?！?ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)…

詳細(xì)介紹

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)

試片尺寸	210×210mm~300×400mm
重現(xiàn)性	1σ 0.5nm以內(nèi)
測定范圍	Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能	Z:0.1nm X:0.1um
測定力	0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動探索樣品表面