Brooks Instrument GF80 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表
GF80 系列 面議污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
上海晉普實(shí)業(yè)有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)GF80 系列
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時(shí)間：2023-05-05 08:52:26瀏覽次數(shù)：249次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線對(duì)于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程，性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個(gè)特點(diǎn)：設(shè)計(jì)采用與的 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù)，該產(chǎn)品是高性價(jià)比運(yùn)營的正確選擇。另外，金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部優(yōu)勢。
長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%
1 秒內(nèi)穩(wěn)定
滿量程流速高達(dá) 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺(tái)設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
通過有源溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范
內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口
帶有 VCR 配件的細(xì)線體設(shè)計(jì)
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響
未采用會(huì)發(fā)生氧滲透并且使用一定時(shí)間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件
MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準(zhǔn) MFC
60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作
測量精度不受溫度變化影響
可輕松訪問診斷端口以實(shí)現(xiàn)運(yùn)行時(shí)間
規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi)；設(shè)備改型的選擇
多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
對(duì)翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改型/升級(jí)
減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫存
用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
分析用 OEM 設(shè)備
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