一、概述
SE-L 是一款全自動(dòng)高精度光譜橢偏儀,配置全自動(dòng)測(cè)量模塊。通過(guò)橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量,快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜的表征分析。
■ 高精度自動(dòng)測(cè)量光學(xué)橢偏測(cè)量解決方案;
■ 全自動(dòng)變角、調(diào)焦等控制平臺(tái),一鍵快速測(cè)量;
■ 軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì),易上手、操作便捷;
■ 豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù),保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);
■ 高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置,實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集;
■ 全自動(dòng)橢偏測(cè)量技術(shù),基于行業(yè)電機(jī)控制技術(shù),自動(dòng)調(diào)整測(cè)量角度,高精度控制臺(tái),實(shí)現(xiàn)樣件快速自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)找焦;
■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù),涵蓋了目前絕大部分的光電材料;
■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù),涵蓋了目前絕大部分的光電材料;
三、產(chǎn)品應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu):介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等;
■ 新材料,新物理現(xiàn)象研究:材料光學(xué)各向異性,電光效應(yīng)、彈光效應(yīng)、聲光效應(yīng)、磁光效應(yīng)、旋光效應(yīng)、Kerr效應(yīng)、Farady效應(yīng)等;
■ 平板顯示:TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等;
■ 光伏太陽(yáng)能:光伏材料(如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等)反射率,消光系數(shù)測(cè)量,膜層厚度及表面粗糙度測(cè)量等;
■ 功能性涂料:增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層,以及高分子、油類(lèi)、Al2O3表面鍍層和處理等;
■ 生物和化學(xué)工程:有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理等;
■ 塊狀材料分析:固體(金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等)或液體(純凈物或混合物)的折射率n和消光系數(shù)k表征,玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等。
建議配件
| | | |
溫控臺(tái) | Mapping擴(kuò)展模塊 | 真空泵 | 透射吸附組件
|