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天津仁志科技有限公司
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所 在 地天津市
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更新時間：2023-10-06 10:45:10瀏覽次數(shù)：198次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線產品詳情規(guī)格參數(shù)：?旋涂基材6英寸或更小?包括三個真空旋轉卡盤?用于手套箱的占地面積小?易于使用的觸摸屏界面?可編程旋涂工藝?耐用的設計以及耐化學腐蝕的材料?耐化學腐蝕HDPE旋轉碗?耐用的不銹鋼機身
規(guī)格參數(shù)：
?旋涂基材6英寸或更小
?包括三個真空旋轉卡盤
?用于手套箱的占地面積小
?易于使用的觸摸屏界面
?可編程旋涂工藝
?耐用的設計以及耐化學腐蝕的材料
?耐化學腐蝕HDPE旋轉碗
?耐用的不銹鋼機身，具有耐化學腐蝕的透明旋轉蓋
?4.3"觸摸屏界面
?基板尺寸：從1厘米到6英寸晶圓
?轉速范圍：100-12000 RPM
?轉速分辨率：1RPM
?加速范圍：空載100-30000 RPM / s
?程序：10個旋轉程序，每個程序有10個步驟
?安全：真空聯(lián)鎖和旋轉蓋聯(lián)鎖
?尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
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