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蘇州尼米茲真空設備有限公司
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德國CuttingEdgeCoatingsGmbH（簡稱CEC）成立于2007年是漢諾威激光中心的衍生公司之一，公司致力于離子束濺射鍍膜設備的研發(fā)，生產和工藝開發(fā)
Navigator 1100生產型型離子束鍍膜系統(tǒng)主要特點如下：
· 主離子源：射頻耦合（頻率：2MHz), 無燈絲, 鈦材質三柵級，
Ø 15cm, 離子束流：≥ 500mA離子能量：1-2keV，氬氣/氙氣或氧氣
· 輔助離子源：射頻耦合，無燈絲, 鈦材質三柵級, Ø 10cm
離子束流：0 - 200mA，離子能量：100eV-1000eV, 氬氣或氧氣
· 中和器：射頻耦合，無燈絲, 電流900mA
· 靶材：具有兩個面，每一個面可以安裝兩種不同的靶材
· 在直徑400mm范圍內鍍膜均勻性≤1%，無掩模
· 單基片旋轉工件架，旋轉速度：0-120轉/分 可調
· 石英晶振膜厚控制儀和可見光/紅外/深紫外波段光控可選
· 觸摸屏人機界面，全自動鍍膜控制系統(tǒng)
· 可選項：進樣室，基片加熱或水冷，雙基片工件架等
離子源圖片：
設備照片：
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