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廣州市嘉晟精密科技有限公司


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多光束激光干涉儀 XM-60

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更新時間:2023-03-09 13:14:01瀏覽次數(shù):388次

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產(chǎn)品簡介

XM-60是一款可測量6個自由度的激光測量系統(tǒng):沿線性軸測量只需一次設(shè)定

詳細介紹

產(chǎn)品介紹Product introduction

XM-60多光束激光干涉儀

XM-60多光束激光干涉儀

XM-60是一款可測量6個自由度的激光測量系統(tǒng):

沿線性軸;

測量;

只需一次設(shè)定 測量誤差包括:

軸的線性定位;

垂直平面的角度旋轉(zhuǎn)(仰俯);

水平平面的角度旋轉(zhuǎn)(扭擺);

水平平面的直線度偏移;

以線性運動軸為中心的滾擺;

產(chǎn)品參數(shù)Product parameters

性能規(guī)格

線性

測量精度

±0.5ppm(使用環(huán)境補償)

分辨率

1nm

測量范圍

0m至4m

直線度

精度

±0.01A/±2µm(A=顯示的直線度讀數(shù))

分辨率

0.25µm

測量范圍

250µm(半徑)

角度(俯仰/扭擺)

精度

±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=測量的距離,單位:米) (A=顯示的角度讀數(shù))

分辨率

0.03微弧度

測量范圍

±500微弧度

滾擺

精度

±0.01A±9.1微弧度(A=顯示的角度讀數(shù))

分辨率

0.5微弧度

測量范圍

±500微弧度

工作與存儲環(huán)境

工作環(huán)境

空氣壓力

600毫巴-1150毫巴

標準環(huán)境

濕度

相對濕度0%-95%

非冷凝

溫度

10°C至40°C

存儲環(huán)境

空氣壓力

550毫巴–1200毫巴

標準環(huán)境

濕度

相對濕度0%-95%

非冷凝

溫度

-20°C至70°C

產(chǎn)品展示Product display

多光束激光干涉儀 XM-60

產(chǎn)品優(yōu)勢Product advantage

微信圖片_20210708171943

應(yīng)用場景Application scenarios

微信圖片_20210708171523

關(guān)鍵詞:激光干涉儀
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