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美國 Entegris 英特格 WG2F02RR2F Mini XL 直通式氣體過濾器

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在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行的微粒過濾

詳細(xì)介紹

在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行的微粒過濾。

  • 緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積,節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間
  • PTFE膜提供高效過濾,提高產(chǎn)品產(chǎn)量
  • 低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
  • 與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的相容性
  • 用于惰性和活性氣體,包括臭氧
  • 臭氧應(yīng)用(氣體)
  • 煤氣柜
  • 超純氣體系統(tǒng)
  • 閥組箱
  • 煤氣板
材料 濾芯 由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不銹鋼
下游清潔度 粒子 <0.03><1>3) >0.01µm
揮發(fā)物 <10 ppb="">
移除等級(jí) 0.0015 微米
表面處理內(nèi)飾 ≤10 微英寸 Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
已測(cè)試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運(yùn)行條件 入口壓力: 20.7 兆帕(207 巴;3000 磅/平方英寸)@ 23°C (73°F)
正向壓差: 0.4 MPa(4 巴;60 psid)@ 23°C(73°F)
壓差: 0.07 兆帕(0.7 巴;10 磅/平方英寸)@ 23°C (73°F)
工作溫度: 120°C (248°F)
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 @ 100 slpm(以穿透性的顆粒尺寸為參考)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)

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