超純水工藝一般采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。

超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽核心部件為進口反滲透膜組件，超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分，反滲透主機部分，后處理部分共同組成。

1、預(yù)處理由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成，也可選用超濾系統(tǒng)作為預(yù)處理，但通常工程造價要高。預(yù)處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物、色度、異味、生化有機物。當原水中硬度較高時，可選擇全自動軟水器，這樣有效的保護了反滲透膜，從而延長了反滲透膜的使用壽命。

2、反滲透主機主要由高壓泵、膜殼、進口反滲透膜組件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號選型得當，反滲透主機脫鹽率及產(chǎn)水量都能達到額定指標，出水電導(dǎo)率可保證在≤10us. CM以下(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)。

3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備，根據(jù)客戶要求，出水阻率可達到18.2MΩ.CM，如果是應(yīng)用在直飲水工藝上，則加上殺菌裝置即可，通常為紫外線殺菌器或者臭氧發(fā)生器，從而使生產(chǎn)出來的水達到直飲標準。