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更新時(shí)間：2023-06-12 17:54:22瀏覽次數(shù)：239次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線該設(shè)備為星型全自動(dòng)勻膠設(shè)備，主要應(yīng)用于4″或5″晶圓涂膠、預(yù)烘工藝
該設(shè)備為星型全自動(dòng)勻膠設(shè)備，主要應(yīng)用于4″或5″晶圓涂膠、預(yù)烘工藝。采用標(biāo)準(zhǔn)片盒收放片，工藝過(guò)程單片處理，自動(dòng)運(yùn)行，主要適用于分立器件、功率器件等領(lǐng)域。
主要技術(shù)特點(diǎn)
傳輸機(jī)構(gòu)
傳輸機(jī)構(gòu)采用機(jī)械手進(jìn)行晶圓的承載及傳輸，性能穩(wěn)定，對(duì)晶圓背面污染小。
勻膠單元
采用不銹鋼勻膠腔體，中空軸伺服電機(jī)，具有密閉腔蓋，保證勻膠過(guò)程中不產(chǎn)生膠絲。
熱板單元
采用硬質(zhì)陽(yáng)極氧化熱盤(pán)，受熱均勻，易于擦拭。
主要技術(shù)指標(biāo)
晶圓尺寸：4″、5″
上/下片單元數(shù)量：4個(gè)（兩個(gè)上片、兩個(gè)下片）
手指數(shù)量：2個(gè)
膠腔數(shù)量：2個(gè)
主軸轉(zhuǎn)速：0～5000rpm，：5000rpm
轉(zhuǎn)速精度：±2rpm (50～5000rpm)
光刻膠供給量(Teflon吐出泵)：1～10ml
光刻膠供給精度：±0.1ml
光刻膠粘度：≤500Cp
熱板數(shù)量：4個(gè)
溫度范圍：室溫～180℃±1℃（可設(shè)置）
最小調(diào)整量：0.1℃
溫度均勻性：±2℃@50℃～100℃、±3℃@100.1℃～180℃
外形尺寸：L1400mm×W1200mm×H1800mm
重量：800Kg
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