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MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡詳細(xì)描述:  儀器適用范圍:伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,我國(guó)半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測(cè)而開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡
MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡

詳細(xì)描述:
  儀器適用范圍:伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,我國(guó)半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測(cè)而開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng),反射式暗場(chǎng)和偏光系統(tǒng),使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)場(chǎng)合。儀器特性:
  1. 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺(tái)。
  2. l 視場(chǎng)數(shù)∮22mm無(wú)限遠(yuǎn)校正像差超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡。
  3. l 落射光明場(chǎng)、暗場(chǎng)及偏光可快速轉(zhuǎn)換。
  4. l 機(jī)架經(jīng)計(jì)算機(jī)《有限元》分析處理,有高穩(wěn)定性及抗振性。
  5. l 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導(dǎo)軌,使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性。
  6. l 采用人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計(jì)理念,調(diào)焦手輪前置,使之操作舒適。
  高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng),確保儀器在對(duì)各試樣檢驗(yàn)時(shí)均能獲得良好的成像質(zhì)量。
  無(wú)限遠(yuǎn)校正像差長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡。
  MA3000配用了本公司開(kāi)發(fā)的視場(chǎng)數(shù) 22mm無(wú)限遠(yuǎn)校正像差超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差系列物鏡。對(duì)各種被檢測(cè)的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長(zhǎng)工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡。
  在反射照明光路中,明場(chǎng)、暗場(chǎng)和偏光可快速轉(zhuǎn)換。
  MA3000配有明場(chǎng)和暗場(chǎng)共用的物鏡,只要拉動(dòng)拉桿,即可明場(chǎng)暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉(zhuǎn)換,操作十分方便。
  采用完善的柯拉照明系統(tǒng)。
  MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng),在整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)照明均勻。
  MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配套表

MA3000
MA3020
附 注
1
反射式工業(yè)檢驗(yàn)顯微鏡主機(jī)
反射式,手動(dòng)轉(zhuǎn)換器,偏光附件
2
透反射式工業(yè)檢驗(yàn)顯微鏡主機(jī)
透反射式,手動(dòng)轉(zhuǎn)換器,偏光附件
3
載物臺(tái)
200X200行程,有快速離合裝置
4
玻璃載物板
200X200
5
燈箱組
●●
12V50W反射光用光源
6
30°傾斜雙目組
7
五孔手動(dòng)轉(zhuǎn)換器
兩只裝暗場(chǎng)物鏡的大孔,三個(gè)裝明場(chǎng)物鏡的小孔
8
4×長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡
LPL 4X/0.10 ∞ 工作距離 27.236mm
9
10×長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡
LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm
10
20×長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡
LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm
11
40×長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡
LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm
12
50×長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡
LPL 50X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm
13
80×長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡
LPL 80X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm
14
10X長(zhǎng)距平場(chǎng)暗場(chǎng)物鏡
D LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm
15
20X長(zhǎng)距平場(chǎng)暗場(chǎng)物鏡
D LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm
16
40X長(zhǎng)距平場(chǎng)暗場(chǎng)物鏡
D LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm
17
50X長(zhǎng)距平場(chǎng)暗場(chǎng)物鏡
D LPL 40X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm
18
80X長(zhǎng)距平場(chǎng)暗場(chǎng)物鏡
D LPL 40X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm
19
4X平場(chǎng)物鏡
PL 4X/0.10 ∞/0.17
20
10X平場(chǎng)物鏡
PL 10X/0.25 ∞/0.17
21
20X平場(chǎng)物鏡
PL 20X/0.66 ∞/0.17
22
40X平場(chǎng)物鏡
PL 4X/0.10 ∞/0.17
23
100X平場(chǎng)物鏡
PL 100X/1.25oil ∞/0.17
24
10×大視野目鏡
●●
●●
WF10×-22
25
16×大視野目鏡
○○
○○
WF16×-16
26
黃、綠、蘭、中性濾色片
各一
27
毛玻璃片
28
35mm攝影接筒
29
2.5X攝影負(fù)目鏡
30
CCD攝像機(jī)接頭
顯微鏡與DV02或視頻攝像機(jī)聯(lián)接用

 

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