FTW-1600M微小氣體質(zhì)量流量計(jì)基于毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償），將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定值相等，分流器決定主通道的流量。

市場：
■　實(shí)驗(yàn)室和過程儀表

■　制藥/生物制藥設(shè)備

■　空氣質(zhì)量監(jiān)測系統(tǒng)

■　爐和涂料

功能/優(yōu)點(diǎn)：
■　快速，可重復(fù)和可靠的性能

■　經(jīng)過驗(yàn)證的熱質(zhì)量流量傳感器和層流元件具有的精度

■　易于集成到您的新系統(tǒng)或現(xiàn)有系統(tǒng)中

■　 清潔用于分析

■　使用常閉閥關(guān)閉時(shí)無法安全操作

■　耐腐蝕全不銹鋼材質(zhì)、ABS全模具生產(chǎn)探頭 結(jié)構(gòu)簡單

■　安裝方便，維修簡單雙向檢測，防振動(dòng)

■　專為管徑為1mm-8mm的氣體管路中低速氣流的流量計(jì)量而設(shè)計(jì)，進(jìn)行流體數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)記錄

■　各種連接方式，易于安裝與使用

■　直接質(zhì)量流量檢測，無需溫度壓力補(bǔ)償

■　響應(yīng)時(shí)間短

■　在空氣機(jī)電子表上具有表現(xiàn)

■　內(nèi)置安全插件可適用于更寬的應(yīng)用

■　具有自檢與自診自診斷和報(bào)警功能；

■　可變機(jī)械連接方式可輕松安裝于不同的應(yīng)用環(huán)境中 。

應(yīng)用范圍：
■　實(shí)驗(yàn)室和過程設(shè)備的氣體控制

■　陶瓷和金屬的燃燒器比例控制

■　過程和環(huán)境分析儀

■　排放監(jiān)測儀和校準(zhǔn)器

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運(yùn)用領(lǐng)域：

■ FTW-1600M微小氣體質(zhì)量流量計(jì)在半導(dǎo)體微電子，特種材料研制，醫(yī)藥，真空等多領(lǐng)域有著重要作用，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜，光纖熔煉、氣相色譜儀等等。