MEMS振動傳感器簡介

MEMS加速度傳感器是運用MEMS芯片（即微型電子機械系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems））結合傳統(tǒng)的半導體工藝和材料,實現(xiàn)對單軸、雙軸甚至三軸加速度進行測量并產(chǎn)生模擬或數(shù)字輸出的傳感器。MEMS無線智能振動傳感器是集成MEMS加速度芯片、微執(zhí)行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、供電模塊、通訊模塊等于一體的高度集成化和智能化的微系統(tǒng)。其具有免布線、便捷部署、體積小、高性價比、多功能、數(shù)字化輸出和邊緣計算等特點，是工業(yè)物聯(lián)發(fā)展的主流趨勢。

振動測量與分析首要條件就是將傳感器與被測物體緊密相連，使傳感器能真實測得的被測物體的振動信號。如何能夠獲取到設備真實的信號，一般來說需兩個條件：即合適的測量位置以及良好的安裝固定方式。

測點選擇

常見的設備均為滾動旋轉設備，滾動的旋轉機械的運動部件有轉軸、聯(lián)結器、齒輪、葉輪、傳動帶及帶輪等等。所有運動部件安裝在轉軸上，轉軸通過滾動軸承或滑動軸承安裝在軸承座上。

復雜的殼體需要詳細的內(nèi)部設計資料以確定軸承類型和機械信號傳遞的途徑。盡管殼體散熱片、聯(lián)軸器罩和風扇罩這類部件會限制安裝，傳感器仍須盡量靠近軸承安裝。如果軸承難以接近，可以安裝傳感器后將線接到隔壁合適位置，允許對測點的非中斷測量。下圖給出典型機器上傳感器安裝的推薦位置。

安裝方式

目前常見的安裝方式有：螺釘安裝、粘膠安裝、磁吸安裝。

1、螺釘安裝：需要在被測設備打孔，安裝固定螺釘然后固定傳感器，一般常用M6的螺釘。特殊的安裝位置及設備，我們可以為客戶定制安裝底座。