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行業(yè)產(chǎn)品

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上海存簡流體技術(shù)有限公司


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VCR閥門,超純低壓手動(dòng)隔膜閥

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參   考   價(jià): 999

訂  貨  量: ≥100 個(gè)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號DLM

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-02-28 10:15:26瀏覽次數(shù):268次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:41條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:焦 (客服)

產(chǎn)品簡介
材質(zhì) 其他 加工定制
連接形式 其他 壓力環(huán)境 低壓

DLM系列超純低壓手動(dòng)隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體低壓工況下的輸送,產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計(jì)的同時(shí),實(shí)現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)生產(chǎn),EP電解拋光處理內(nèi)表面,粗糙度可達(dá)Ra≤5μin。每個(gè)產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測試,從而保障應(yīng)用安全性。

詳細(xì)介紹

超純低壓手動(dòng)隔膜閥 DLM

DLM系列超純低壓手動(dòng)隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體低壓工況下的輸送,產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計(jì)的同時(shí),實(shí)現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)生產(chǎn),EP電解拋光處理內(nèi)表面,粗糙度可達(dá)Ra≤5μin。每個(gè)產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測試,從而保障應(yīng)用安全性。

材料

閥體:SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

閥座:PCTFE/PFA/PI

膜片:鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

使用壓力:300psi(20.7Bar)

閥體內(nèi)漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He

閥體外漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He


規(guī)格

1/4"

3/8"

1/2"

3/4"

CV值(流量系數(shù))

0.27

0.27-0.7

0.7

1.7


內(nèi)表面粗糙度

Ba:Ra≤10μin(0.25μm)

EP級:Ra≤5μin (0.13μm)

連接選擇:VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭

編碼兩端接頭A(mm)B(mm)C(mm)D(mm)E(mm)F(mm)G(mm)
DLM04M1/4"VCR公頭57116340252625.4
DLM06M3/8"VCR公頭77167640363628
DLM08M1/2"VCR公頭77167640363628
DLM12M3/4"VCR公頭1072382.840464835
DLM04F1/4"VCR母頭70.6116340252625.4
DLM06F3/8"VCR母頭83167640363628
DLM08F1/2"VCR母頭83167640363628
DLM12F3/4"VCR母頭179.22382.840464835
DLM04T1/4"卡套接頭48116340252625.4
DLM06T3/8"卡套接頭64167640363628
DLM08T1/2"卡套接頭64167640363628
DLM12T3/4"卡套接頭1262382.840464835
DLM04W1/4"對焊54116340252625.4
DLM06W3/8"對焊69167640363628
DLM08W1/2"對焊69167640363628
DLM12W3/4"對焊1562382.840464835





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