[4]便攜式MFC-UT系列質量流量控制器

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更新時間：2024-05-29 17:52:30瀏覽次數(shù)：444次

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青島芯笙微納電子科技有限公司

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產品簡介

MFC-UT系列質量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，對比傳統(tǒng)的氣體流量控制器，本產品采用集成化設計，使得該產品的體積大幅度縮小到傳統(tǒng)產品的1/4，可以在小體積、便攜式設備中發(fā)揮更大優(yōu)勢。

詳細介紹

產品應用于：半導體加工、分析儀器、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過程控制、氣體混合配比

產品特點：

溫度和壓力不敏感

設計勁湊，可安裝任意位置

的零點穩(wěn)定性

超快的響應速度

良好的重復性和再現(xiàn)性

采用液晶觸控顯示和控制

配備比例電磁閥

關鍵詞：質量流量控制器流量傳感器芯片流量控制器氣體流量控制器

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