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CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間:2024-03-22 22:58:42瀏覽次數(shù):151次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:CS200A系列CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

詳細(xì)介紹

CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號(hào):CS200-A型
產(chǎn)品系列:CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品類(lèi)型:高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

 

型號(hào)CS200-A
閥類(lèi)型常開(kāi)(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉無(wú)
流量規(guī)格(N2)(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50)       SLM
準(zhǔn)確度±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
線性±0.5% F.S.
重復(fù)精度±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間≤ 1sec
工作壓差范圍0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量規(guī)格≤30SLM
0.2~0.45MPa   30<流量規(guī)格≤50SLM
<0.02 MPa
溫度系數(shù)

零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃;

調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃   流量規(guī)格≤30SLM;

調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.2% F.S/℃   流量規(guī)格>30SLM

耐壓3MPa
漏率1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料氟橡膠;
工作環(huán)境溫度(5~45)℃
輸入信號(hào)

數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

無(wú)
輸出信號(hào)

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

零漂在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S/年
電源±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分常態(tài)
表面粗糙度25 Ra
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽(yáng)接頭;雙卡套φ3;
雙卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭; φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm;A 型密封接頭;
電源接頭形式D型9 針陽(yáng)接頭;D 型 15 針陽(yáng)接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭
重量1 Kg0.8Kg

 

 

 

型號(hào)

CS200-A

閥類(lèi)型

常開(kāi)(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉

無(wú)

流量規(guī)格(N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50)       SLM

準(zhǔn)確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量規(guī)格≤30SLM
0.2~0.45MPa   30<流量規(guī)格≤50SLM

<0.02 MPa

溫度系數(shù)

零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃;

調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃   流量規(guī)格≤30SLM;

調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.2% F.S/℃   流量規(guī)格>30SLM

耐壓

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡膠;

工作環(huán)境溫度

(5~45)℃

輸入信號(hào)

數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

無(wú)

輸出信號(hào)

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

零漂

在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S/年

電源

±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分

常態(tài)

表面粗糙度

25 Ra

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽(yáng)接頭;雙卡套φ3;
雙卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭; φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm;A 型密封接頭;

電源接頭形式

D型9 針陽(yáng)接頭;D 型 15 針陽(yáng)接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭

重量

1 Kg

0.8Kg

 

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