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等離子體技術(shù)應(yīng)用

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更新時間:2024-04-20 10:30:33瀏覽次數(shù):144次

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產(chǎn)品簡介

簡要描述:該等離子體技術(shù)應(yīng)用內(nèi)置高純石英倉體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機(jī)相比較,從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個面板上操作,特別適用科學(xué)實驗 樣品清洗 和教學(xué)。

詳細(xì)介紹

等離子體技術(shù)應(yīng)用作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔等目的。

等離子體技術(shù)應(yīng)用主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實驗等。

內(nèi)置高純石英倉體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機(jī)相比較,從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個面板上操作,特別適用科學(xué)實驗 樣品清洗 和教學(xué)。

 



設(shè)備型號

KT-Z2DQX

KT-S2DQX

KT-Z5DQX

控制方式

7寸觸摸屏人機(jī)界面

7寸觸摸屏人機(jī)界面

7寸觸摸屏人機(jī)界面

供電電源

AC220VAC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

1000W

150W

300W

匹配方式

自動匹配

手動匹配

自動匹配

清洗頻率

40KHz

13.56MHz

耦合方式

電容耦合

工作真空

≤50Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

5L(內(nèi)徑160MMX深度310MM)

觀察窗內(nèi)徑

Φ50

Φ50

Φ70

氣體流量

0-300ml/min(熱式質(zhì)量流量傳感器X2個)

真空計量程

1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計)

過程控制

手動/自動切換

手動/自動切換

手動/自動切換

清洗時間

自動開關(guān)

開蓋方式

鉸鏈側(cè)開式法蘭

外形尺寸

150*500*250mm

450*460*370mm

530*580*420mm

重量

20kg

35kg

40kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

標(biāo)配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。


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