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鄭州科探儀器設備有限公司


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真空小型蒸鍍儀

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更新時間:2024-04-25 14:31:59瀏覽次數:82次

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產品簡介

真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD,7寸觸摸屏控制,工藝記憶儲存方便下次使用,樣品臺旋轉0-8轉/分,自動電動擋板保護樣品,石英腔室潔凈好清洗。

詳細介紹

真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD

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? 設備一體化設計,占地面積小,*,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;

? 設備兼容有機蒸發(fā)與無機蒸發(fā),多元共蒸獲得復合膜/分蒸獲得多層膜,功能強大,性能穩(wěn)定;

? 適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、有機膜,也可用于生產線前期工藝試驗等;

? 適用于蒸發(fā)鍍膜與手套箱環(huán)境有機融合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝無縫對接,廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池/OPV有機太陽能電池及OLED薄膜等研究系統(tǒng)等

以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

1200W

輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8/分鐘

樣品蒸發(fā)源調節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa




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