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12寸半導(dǎo)體金相顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

全新的12R半導(dǎo)體 FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤(pán)，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)提升，為用戶(hù)提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

仰角可調(diào)觀(guān)察筒
12R采用0-35°觀(guān)察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶(hù)，降低了對(duì)工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到觀(guān)察角度，減輕了長(zhǎng)時(shí)間工作帶來(lái)的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。

全新離合驅(qū)動(dòng)式載物臺(tái)

12R 采用離合式手柄，用戶(hù)按下離合扳手就可靈活移動(dòng)平臺(tái)，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動(dòng)。避免長(zhǎng)時(shí)間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，觀(guān)察速度。 MX12R 引入導(dǎo)軌傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，移動(dòng)更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。

安全、高速的電動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)換器

12R設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、定位到所需要的觀(guān)察倍率，重復(fù)定位精度高。機(jī)械式的切換模式，提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。按鍵觸手可及，助您提高工作效率
12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動(dòng)控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動(dòng)設(shè)計(jì)不僅避免了頻繁的手動(dòng)操作步驟，也使您的檢測(cè)工作也更加靈活。

防震支架設(shè)計(jì)

12R機(jī)身由六端支架支撐，高穩(wěn)定性全金屬機(jī)架，具備良好的抗震功能，確保像質(zhì)穩(wěn)定。

豐富的應(yīng)用領(lǐng)域

12R 集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC 等多種觀(guān)察功能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、磨具等檢測(cè)。
技術(shù)規(guī)格

技術(shù)規(guī)格:Technical specifications

光學(xué)系統(tǒng)	無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀(guān)察方式	明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC
觀(guān)察筒	無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀(guān)察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目鏡	高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃版
物鏡	無(wú)限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X
轉(zhuǎn)換器	明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽
機(jī)架組	反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
機(jī)架組	透反機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
載物臺(tái)	右手位 14×12 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺(tái)面積 718mmX420mm，移動(dòng)范圍：356mmX305mm
載物臺(tái)	帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ；玻璃載物臺(tái)板 ( 反射用）
電動(dòng)平臺(tái)	面積 495mmX641mm，移動(dòng)范圍：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動(dòng)，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺(tái)
照明系統(tǒng)	明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變電動(dòng)孔徑光闌，視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
其他附件	攝影攝像附件：0.5X，C型接口，可調(diào)焦
	起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板
	USB3.0相機(jī)。600萬(wàn)，1200萬(wàn)，2000萬(wàn)像素。測(cè)量軟件（金相分析，顆粒分析，清潔度，孔隙率）