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廣東皓天檢測(cè)儀器有限公司
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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)振動(dòng)傳感器與電磁振動(dòng)臺(tái)的協(xié)同發(fā)展

時(shí)間:2025/5/22閱讀:14
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概述

在現(xiàn)代工程與科研領(lǐng)域,對(duì)振動(dòng)的精確測(cè)量與模擬至關(guān)重要。電磁振動(dòng)臺(tái)作為模擬振動(dòng)環(huán)境的核心設(shè)備,廣泛應(yīng)用于產(chǎn)品可靠性測(cè)試、材料性能研究等場(chǎng)景。而微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)振動(dòng)傳感器憑借其微小尺寸、低功耗、高靈敏度等特性,成為獲取精準(zhǔn)振動(dòng)數(shù)據(jù)的關(guān)鍵部件。二者的協(xié)同發(fā)展是技術(shù)進(jìn)步的必然趨勢(shì)。MEMS 振動(dòng)傳感器能夠?qū)崟r(shí)、精確地感知電磁振動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生的振動(dòng)信息,為振動(dòng)臺(tái)的控制與優(yōu)化提供反饋數(shù)據(jù);電磁振動(dòng)臺(tái)則為 MEMS 振動(dòng)傳感器提供標(biāo)準(zhǔn)的振動(dòng)測(cè)試環(huán)境,助力傳感器性能的校準(zhǔn)與提升。這種協(xié)同不僅提升了振動(dòng)測(cè)試與模擬的精度和效率,還拓展了相關(guān)技術(shù)在航空航天、汽車(chē)工業(yè)、精密電子等行業(yè)的應(yīng)用邊界 。

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工作原理
MEMS 振動(dòng)傳感器工作原理
MEMS 振動(dòng)傳感器基于多種物理效應(yīng)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)測(cè)量,常見(jiàn)的有壓電效應(yīng)、壓阻效應(yīng)和電容效應(yīng)。以基于壓電效應(yīng)的 MEMS 振動(dòng)傳感器為例,其內(nèi)部包含壓電材料,當(dāng)傳感器受到外界振動(dòng)作用時(shí),內(nèi)部質(zhì)量塊因慣性產(chǎn)生相對(duì)位移,對(duì)壓電材料施加應(yīng)力。根據(jù)壓電效應(yīng)原理,壓電材料會(huì)在應(yīng)力作用下產(chǎn)生與應(yīng)力大小成正比的電荷,通過(guò)檢測(cè)電荷的變化量,即可換算出振動(dòng)的加速度、速度或位移等參數(shù)?;趬鹤栊?yīng)的傳感器,則是利用振動(dòng)導(dǎo)致敏感電阻的阻值變化,通過(guò)測(cè)量電阻變化來(lái)感知振動(dòng);基于電容效應(yīng)的傳感器,通過(guò)檢測(cè)振動(dòng)引起的電容變化來(lái)獲取振動(dòng)信息。這些 MEMS 振動(dòng)傳感器一般通過(guò)微加工工藝,將機(jī)械結(jié)構(gòu)與信號(hào)處理電路集成在微小芯片上,具備體積小、響應(yīng)速度快的優(yōu)勢(shì) 。
電磁振動(dòng)臺(tái)工作原理

電磁振動(dòng)臺(tái)利用電磁感應(yīng)原理產(chǎn)生振動(dòng)。核心部件包括勵(lì)磁線(xiàn)圈、動(dòng)圈和臺(tái)面。勵(lì)磁線(xiàn)圈通入直流電流,在氣隙中形成恒定磁場(chǎng);動(dòng)圈位于該磁場(chǎng)內(nèi),且與臺(tái)面相連。當(dāng)動(dòng)圈通入交變電流時(shí),根據(jù)安培力定律,載流導(dǎo)體在磁場(chǎng)中受到力的作用,動(dòng)圈受電磁力驅(qū)動(dòng),帶動(dòng)臺(tái)面產(chǎn)生振動(dòng)。通過(guò)調(diào)節(jié)輸入動(dòng)圈的交變電流的幅值、頻率和相位,可精確控制振動(dòng)臺(tái)輸出振動(dòng)的幅值、頻率和波形等參數(shù),為各類(lèi)測(cè)試提供穩(wěn)定、可調(diào)節(jié)的振動(dòng)環(huán)境 。

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小型化與集成化優(yōu)勢(shì)
  1. 體積小巧便于集成:MEMS 振動(dòng)傳感器的微型化特點(diǎn)使其易于與電磁振動(dòng)臺(tái)集成。其尺寸通常在幾平方毫米甚至更小,可直接安裝在電磁振動(dòng)臺(tái)的關(guān)鍵部位,如臺(tái)面、動(dòng)圈等,實(shí)現(xiàn)對(duì)振動(dòng)的近距離、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),且不會(huì)對(duì)振動(dòng)臺(tái)的原有結(jié)構(gòu)和性能造成較大影響。這種集成方式不僅簡(jiǎn)化了系統(tǒng)布線(xiàn),還減少了信號(hào)傳輸過(guò)程中的干擾,提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性 。

  1. 系統(tǒng)集成度提升:MEMS 振動(dòng)傳感器與電磁振動(dòng)臺(tái)的協(xié)同推動(dòng)了整個(gè)振動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的集成化發(fā)展。將傳感器、電磁振動(dòng)臺(tái)、控制系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集與分析系統(tǒng)等進(jìn)行高度集成,形成一體化的振動(dòng)測(cè)試設(shè)備。設(shè)備體積更小,占用空間少,便于安裝和運(yùn)輸;同時(shí),系統(tǒng)內(nèi)部各部件之間的通信與協(xié)同效率更高,進(jìn)一步提升了設(shè)備的整體性能與易用性,為用戶(hù)提供更便捷、高效的振動(dòng)測(cè)試解決方案 。



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