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自動(dòng)晶圓磨邊倒角機(jī)

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更新時(shí)間：2024-05-29 07:14:35瀏覽次數(shù)：730次

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全自動(dòng)晶圓磨邊機(jī)為晶圓倒角、晶圓磨邊、鍵合片晶圓層階倒角的專用設(shè)備，利用精密砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行研磨整形加工

詳細(xì)介紹

全自動(dòng)晶圓磨邊機(jī)為晶圓倒角、晶圓磨邊、鍵合片晶圓層階倒角的專用設(shè)備，利用精密砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓、8″-12″晶圓

  • 適用于晶圓倒角、晶圓磨邊及層階倒角加工

  • 機(jī)械臂自動(dòng)上下料，全自動(dòng)生產(chǎn)

  • 可加工參考邊型晶圓及Notch型晶圓

  • 自動(dòng)進(jìn)行粗研及精研加工

  • 可自動(dòng)檢測(cè)晶圓直徑

  • 配備晶圓清洗功能

  • 配備晶圓干燥功能

    可選配SECS/GEM與MES系統(tǒng)聯(lián)接

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