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全自動高精密倒角機

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產(chǎn)品型號DL-SC150A/SC200A

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更新時間：2024-10-02 13:44:05瀏覽次數(shù)：207次

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所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生（運營）

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產(chǎn)品簡介

全自動高精密倒角機具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能，滿足各類工藝需求?？蛇M行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。

詳細介紹

設(shè)備優(yōu)勢

◎ 晶圓倒角單元采用側(cè)向進給磨削原理，兼容中?4'' / ?6'' / ?8''（Φ100~Φ200）晶圓倒角加工。

◎ 設(shè)備配有精密在線測量厚度儀單元和CCD視覺模組，加工時先測量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測量直徑，真圓度，直線邊到圓心尺寸，倒角邊尺寸。

◎ 設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能，滿足各類工藝需求。

◎ 設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn)。

◎ 全自動上下料和不良品下料工位?？蛇M行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。

◎ 配置了觸摸式液晶顯示器，提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作。

性能參數(shù)

參數(shù)名稱		單位	DL-SC150A	DL-SC200A
晶圓尺寸		in	兼容?4''/?6''	兼容?4''/?6''/?8''
研磨方式		-	晶圓旋轉(zhuǎn)進給磨削
砂輪直徑		mm	?205金剛石砂輪	?205金剛石砂輪
主軸	額定功率	KW	1	1
主軸	額定轉(zhuǎn)速范圍	RPM	500~3000	500~3000
Notch主軸	額定功率	KW	-	0.5
Notch主軸	額定轉(zhuǎn)速范圍	RPM	-	1000~60000
產(chǎn)品和研磨臺定位精度		um	±4	±4
厚度測量重復(fù)精度		um	±2	±2
磨削精度	直徑控制精度	um	15	15
	晶圓真圓度控制能力	um	＜10	＜10
	倒角面幅精度	um	＜20	＜20
	平邊/次平邊角度控制能力	度	±0.05	±0.05
設(shè)備尺寸（W x D x H）		mm	2000x1150x1950	2000x1150x1950
設(shè)備重量		KG	約1000	約1000

關(guān)鍵詞：顯示器

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