國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)—“高純電子氣體研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化"課題。目前產(chǎn)品已研制成功研制出10種電子混合氣體，各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到用戶技術(shù)要求，形成每年10000瓶以上電子混合氣供貨和氣體配送能力，滿足極大規(guī)模集成電路的要求。
電子混合氣技術(shù)指標(biāo)如下：
電子混合氣技術(shù)指標(biāo)如下：
混合氣體 | 指標(biāo) |
0.52%N2/He | 6N/6N |
1% O2/Ar | 6N/6N |
10% CH4/Ar | 6N/6N |
5% H2/He | 6N/6N |
4% H2/N2 | 6N/6N |
0.5% O2/He | 6N/6N |
1.25% Kr/Ne | 6N/6N |
1.2% He/N2 | 6N/6N |
3.5% Ar/10ppmXe/Ne | 6N/6N/6N |
30% O2/He | 6N/6N |
1.0%F2/1.25%Kr/Ne |
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1.0%F2/3.5%Ar/Ne |
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10%F2/N2 |
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超高純氣體（6N）：N2、O2、H2、He、Ne 、Ar、CH4。
氣體品種 | 純度 | 容器規(guī)格（L） | 充裝壓力（MPa） |
He | 6N | 40/47 | 13.5 |
Ar | 6N | 40/47 | 13.5 |
Ne | 6N | 40/47 | 13.5 |
H2 | 6N | 40/47 | 13.5 |
N2 | 6N | 40/47 | 13.5 |
O2 | 6N | 40/47 | 13.5 |
Kr | 6N | 40/47 | 13.5 |
Xe | 6N | 40/47 | 13.5 |
高純氣體：He、Ar、H2、N2、O2、CO2、CH4
氣體品種 | 純度 | 容器規(guī)格（L） | 充裝壓力（MPa） |
He | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
Ar | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
H2 | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
N2 | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
O2 | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
CO2 | ≥99.999% | 40 | 15kg |
CH4 | ≥99.99% | 40 | 13.5 |
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