“02專項"產(chǎn)品簡介
中船重工第七一八研究所 (簡稱PERIC)與南大光電、光明院等5家協(xié)作單位申請的“02"國家科技重大專項--高純電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目，已于2013年初獲得國家立項并得到國家財政支持?！?2專項"全稱為極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝，是由專項實施管理辦公室組織，屬于重點項目。該項目旨在開發(fā)集成電路關鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權的成套*工藝及相關新材料技術，打破我國集成電路制造裝備與工藝*依賴進口的狀況，帶動相關產(chǎn)業(yè)的技術提升和結構調整。此項目中，718所共承擔NF3、WF6、SiF4、C2F6、C4F8、C3F8、HF、HCl、COF2及電子混合氣體等19種氣體的研制及產(chǎn)業(yè)化工作。NF3及WF6產(chǎn)品目前我所已有成熟的技術及生產(chǎn)經(jīng)驗，并有多年的產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗，滿足客戶的需求。
COF2產(chǎn)品已完成了研制及小試生產(chǎn)，純度達到99%以上。
SiF4、C2F6等產(chǎn)品的研制工作已基本結束，預計于2015年將實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，各產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化情況如下：
| 氣體名稱 | 純度 | 產(chǎn)業(yè)化規(guī)模 |
| SiF4 | 99.999% | 50噸/年 |
| C2F6 | 99.9993% | 50噸/年 |
| C4F8 | 99.9993% | 50噸/年 |
| C3F8 | 99.9995% | 30噸/年 |
| HF | 99.999% | 10噸/年 |
| HCl | 99.999% | 50噸/年 |
氣體應用：
上述氣體主要用于IC制造過程中的外延、離子注入、擴散、蝕刻、沉積、清洗等關鍵工藝。
目前，718所已與無錫華潤上華科技有限公司或上海華虹宏力半導體制造有限公司或中芯國際集成電路制造有限公司等簽訂了測試協(xié)議，上述單位將負責該項目中所有氣體的測試等工作。
：銷售部 ，0310-7184723
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