【產(chǎn)品簡介】
centrotherm c.ACTIVATOR 150高溫爐生產(chǎn)線，用于碳化硅（SiC）或氮化鎵（GaN）器件的離子注入后退火c.ACTIVATOR 150有各種各樣的版本可供作為研發(fā)與系列生產(chǎn)加熱爐使用，具有很高的工藝靈活性。商先創(chuàng)公司的無金屬加熱設計使加工溫度提高到2000°C，并縮短了加工周期時間。由于占地面積小，擁有成本低，c.ACTIVATOR 150有利于提高生產(chǎn)的成本效益。
【適用工藝】
·GaN和SiC晶圓的退火
·石墨烯的生長
【產(chǎn)品優(yōu)點】
·激活效率高
·穩(wěn)定可達2000℃的工藝溫度
·支持2-6寸晶圓
·可批量處理5-50片晶圓
·升溫速率可達100K/min
環(huán)保在線