【產品簡介】
全新的 DektakXT 成為一臺采用具有單拱龍門式設計，配備D 攝像機，并且利用 64 位同步數據處理模式完成精準測量和操作效率的臺階儀。過去四十多年間，布魯克的臺階儀研制和生產一直在實踐上不斷實現創(chuàng)新，DektakXT 延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風格。
【主要應用】
1、 主要用于膜厚、應力、表面粗糙度和表面形貌的測量，實現納米尺度的表面輪廓測量；
2、 廣泛應用于半導體器件、MEMS、金屬鍍層、油漆鍍層、玻璃鍍膜、太陽能、LED、觸摸屏、醫(yī)療等領域。
【主要參數】
垂直量程 | 1mm |
垂直分辨率 | 0.1nm |
單次掃描長度 | 55mm ( 200mm) |
樣品高度 | 50mm |
樣品臺尺寸 | 100mmX100mm （手動） 150mmX150mm（自動） |
樣品臺旋轉 | 360 度連續(xù)旋轉 |
臺階測試精度 | <5Å( 1sigma on 1μm step) |
環(huán)保在線