【產(chǎn)品簡介】
NPFlex 三維表面測量系統(tǒng)基于白光干涉原理，為精密機(jī)械加工領(lǐng)域大樣品表面表征測量提供了適合的解決方案，開放式的龍門設(shè)計提供了更大測量空間，克服了以往某些零件由于角度或取向造成的測量困難。NPFlex 為用戶提供比接觸式方法所能得到的更多數(shù)據(jù)量、更高分辨率和更好的重復(fù)性，使它成為精密機(jī)械加工領(lǐng)域優(yōu)異的測量方案可廣泛用于醫(yī)療植入，航空航天、汽車或精密加工上的大型、異型工件的測量。
【主要應(yīng)用】
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機(jī)械加工部件等領(lǐng)域的測量。
【主要參數(shù)】
RMS 重復(fù)性 | 0.004 nm |
垂直分辨率 | 0.1nm |
樣品尺寸 | H: 249mm D: 304mm W: 304mm |
樣品臺承載 | 50kg |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 ) |
光學(xué)橫向分辨率 | 350nm |
臺階測試精度 | 0.75% |
臺階重復(fù)性 | <0.1% 1σ |
傾斜調(diào)整 | 手動 ± 45° / 自動調(diào)節(jié) ± 6° |
垂直掃描速度 | 96um / 秒，用戶可自行設(shè)定 |
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | CE, NRTL, T-Mark, ROHS，ANSI B46.1 |
環(huán)保在線