【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
centrotherm c.VERTICOO Mini是一種為研發(fā)與小批量生產(chǎn)熱加工而設(shè)計(jì)的獨(dú)立微批量晶圓加工設(shè)備。的工藝腔體與加熱系統(tǒng)能夠在1100°C的高溫下運(yùn)轉(zhuǎn)。商先創(chuàng)公司的c.VERTICOO Mini加熱爐由于加工批量小，因此具有高度的靈活性，適合所有的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓與低壓加工。這一結(jié)構(gòu)的限度加工批量為50片晶圓，從而降低了客戶的開(kāi)發(fā)成本。商先創(chuàng)公司的設(shè)計(jì)具有性能高、占地面積小、擁有成本低的突出優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)具有許多半導(dǎo)體器件制造工序所要求的高度的加工靈活性。c.VERTICOO Mini 可根據(jù)需要加設(shè)薄晶圓裝卸裝置。
【適用工藝】
·大氣壓加工
·退火
·氧化
·擴(kuò)散
·LPCVD
·PECVD
【主要應(yīng)用】
·MOS
·VCSEL
·雙極型晶體管
·分立式半導(dǎo)體
·功率半導(dǎo)體
·MEMS
·光電子器件
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