產(chǎn)品簡介：
ULVAC CS-200系列磁控濺射鍍膜設(shè)備是一款追求低成本和用戶友好操作的磁控濺射設(shè)備，通過增加配有機械手d裝載固定腔室（Load lock chamber）使在上下基板時工藝腔室仍保持真空。
主要技術(shù)參數(shù)：
·適用于小于8inch的各種基板；
·配備300℃的基本加熱裝置，可選配600℃的基本加熱裝置；
·可選配RF源；
·膜厚均勻性好于±5%；
暫無信息 |
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