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北京亞科晨旭科技有限公司等)

EVG Hercules NIL納米壓印系統(tǒng)

參  考  價:面議
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更新時間:2024-04-27 07:13:38瀏覽次數(shù):110次

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EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動大型紫外納米壓印工藝平臺,應(yīng)用于AR/VR中的光學(xué)設(shè)備、3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備、納米光學(xué)和等離子學(xué)研究。

產(chǎn)品簡介:

EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動大型紫外納米壓印工藝平臺,應(yīng)用于AR/VR中的光學(xué)設(shè)備、3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備、納米光學(xué)和等離子學(xué)研究。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù):

·支持12英寸(300mm)晶圓

·支持包括3D在內(nèi)的各種結(jié)構(gòu)尺寸形狀

·可做200mm和300mm晶圓的橋接

·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)

EVG 610(NIL)納米壓印系統(tǒng)

EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備

EVG 620NT(NIL)納米壓印系統(tǒng)

主要特點(diǎn)及參數(shù):

EVG 720納米壓印系統(tǒng)

EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設(shè)備,能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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