產(chǎn)品簡介:
EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動大型紫外納米壓印工藝平臺,應(yīng)用于AR/VR中的光學(xué)設(shè)備、3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備、納米光學(xué)和等離子學(xué)研究。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持12英寸(300mm)晶圓
·支持包括3D在內(nèi)的各種結(jié)構(gòu)尺寸形狀
·可做200mm和300mm晶圓的橋接
·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)