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產(chǎn)品型號(hào)
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更新時(shí)間：2024-04-27 07:22:50瀏覽次數(shù)：123次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡介：
EVG IQ Aligner是一款高自動(dòng)化的光刻工藝平臺(tái)，可集成多種高精度對(duì)準(zhǔn)技術(shù)可對(duì)應(yīng)在晶圓及多種基板上的應(yīng)用，適用于大型生產(chǎn)線。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理
·全自動(dòng)頂部及底部對(duì)準(zhǔn)：
頂部對(duì)準(zhǔn)精度≤±0.5μm
底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm
·支持Casettes, SMIF或FOUP上料
·可選配功能：
紅外對(duì)準(zhǔn)（透射或反射）
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