系統(tǒng):
◆測量功能:精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面形貌及特性
◆測量方法:激光3維相移干涉法
◆測量功能:精密測量各種不同反射面或光學(xué)面的形貌及特性
◆測量光束直徑:4″(102 mm)和6″(152 mm)
◆配置:水平式,立式向下或立式向上
◆光學(xué)中心線 :4.25″(108 mm)
◆對準系統(tǒng) :快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)
◆放大范圍: 6:1(非連續(xù)式放大,低失真)
◆調(diào)整可視范圍:4″: ±3° 6″: ±2 °
◆光曈調(diào)焦范圍:-800 mm/+1600 mm, 4″孔徑
◆樣件觀察:計算機實時顯示/單獨監(jiān)視器
◆計算機: DELL PC;配有硬盤,光驅(qū),17英寸液晶彩顯,可選配打印機
◆軟件: Microsoft?? Windows XP專業(yè)版下運行的ZYGO MetroProTM 軟件
◆尺寸(高x寬x長):水平式4″: 308 x 694 x 308 mm,水平式6″: 308 x 992 x 308 mm,立式: H x 686x686 mm
激光:
◆類型: II 級 氦-氖激光
◆波長: 632.8 nm
◆通光孔徑輸出功率:≤ 1 mw
◆光束偏振態(tài) :圓偏振,可選線偏振開關(guān)
◆相干長度: >100 m
樣件特性:
◆材質(zhì) :各種不同的玻璃、超精加工金屬、陶和塑料
◆預(yù)處理 :無需特殊處理,非接觸、非破壞性測量,在現(xiàn)場環(huán)境中操作。
◆樣件大小(高x寬x長):254 x 203 x 203 mm (帶2軸調(diào)整架)
◆樣件重量: ≤22.7 Kg (帶2 軸調(diào)整架)
◆反射率 :0.1% - 99%
性能參數(shù):
◆3平板測量重復(fù)性:λ/300 (2σ )
◆RMS 重復(fù)性:2 λ/10,000 (2σ)
◆數(shù)據(jù)采樣: 640x480 像素,8位,可選:1K x 1K像素
◆分辨率: >λ/8,000
◆條紋分辨率:180條紋
◆數(shù)據(jù)采樣時間:低分辨率(7幅數(shù)據(jù)圖像):93 ms,高分辨率(13幅數(shù)據(jù)圖像):173 ms
環(huán)境要求:
◆溫度 :15°C-30°C(60°F-95°F)
◆溫度變化率: <1.0°C/15min
◆濕度 :相對濕度5% - 95% , 無凝結(jié)
◆防震: 需要隔離1-120Hz的震動