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美國ZYGO激光干涉儀GPI XP/D

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品       牌

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更新時間:2022-11-26 14:41:44瀏覽次數(shù):1456次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:美國ZYGO激光干涉儀GPI XP/D GPI? XP/D激光干涉儀--運(yùn)用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半徑,樣品表面質(zhì)量,傳輸波前的測量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中國甚至

詳細(xì)介紹

美國ZYGO激光干涉儀GPI XP/D
GPI? XP/D激光干涉儀--運(yùn)用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半徑,樣品表面質(zhì)量,傳輸波前的測量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中國甚至高的一款激光干涉儀,廣泛應(yīng)用于科研教學(xué)和生產(chǎn)檢測中。GPI XP/D主機(jī)為Fizeau型干涉儀,測量精度高且操作簡單,采用精密移相技術(shù)和高分辨率CCD接收器件640Х480(可以升級為1024×1024),配合功能強(qiáng)大MetroPro軟件可以獲得高重復(fù)性和高精度的測量結(jié)果,其三平板測量重復(fù)性優(yōu)于λ/300,rms重復(fù)性優(yōu)于λ/10,000。并能模擬樣品表面面形,并顯示鮮明的,可旋轉(zhuǎn)的3D彩色圖像,可選的剖面圖以及各種統(tǒng)計數(shù)字結(jié)果等。同時,針對特殊的樣品、 特殊的測量需求,可以為用戶設(shè)計定制特殊的測量系統(tǒng),結(jié)合MetroPro軟件,為用戶提供的技術(shù)解決方案并獲得滿意的測量結(jié)果。
美國ZYGO激光干涉儀GPI XP/D

系統(tǒng):

◆測量功能:精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面形貌及特性

◆測量方法:激光3維相移干涉法

◆測量功能:精密測量各種不同反射面或光學(xué)面的形貌及特性

◆測量光束直徑:4″(102 mm)和6″(152 mm)

◆配置:水平式,立式向下或立式向上

◆光學(xué)中心線 :4.25″(108 mm)

◆對準(zhǔn)系統(tǒng) :快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)

◆放大范圍: 6:1(非連續(xù)式放大,低失真)

◆調(diào)整可視范圍:4″: ±3° 6″: ±2 °

◆光曈調(diào)焦范圍:-800 mm/+1600 mm, 4″孔徑

◆樣件觀察:計算機(jī)實(shí)時顯示/單獨(dú)監(jiān)視器

◆計算機(jī): DELL PC;配有硬盤,光驅(qū),17英寸液晶彩顯,可選配打印機(jī)

◆軟件: Microsoft?? Windows XP專業(yè)版下運(yùn)行的ZYGO MetroProTM 軟件

◆尺寸(高x寬x長):水平式4″: 308 x 694 x 308 mm,水平式6″: 308 x 992 x 308 mm,立式: H x 686x686 mm

激光:

◆類型: II 級 氦-氖激光

◆波長: 632.8 nm

◆通光孔徑輸出功率:≤ 1 mw

◆光束偏振態(tài) :圓偏振,可選線偏振開關(guān)

◆相干長度: >100 m

樣件特性:

◆材質(zhì) :各種不同的玻璃、超精加工金屬、陶和塑料

◆預(yù)處理 :無需特殊處理,非接觸、非破壞性測量,在現(xiàn)場環(huán)境中操作。

◆樣件大小(高x寬x長):254 x 203 x 203 mm (帶2軸調(diào)整架)

◆樣件重量: ≤22.7 Kg (帶2 軸調(diào)整架)

◆反射率 :0.1% - 99%

性能參數(shù):

◆3平板測量重復(fù)性:λ/300 (2σ )

◆RMS 重復(fù)性:2 λ/10,000 (2σ)

◆數(shù)據(jù)采樣: 640x480 像素,8位,可選:1K x 1K像素

◆分辨率: >λ/8,000

◆條紋分辨率:180條紋

◆數(shù)據(jù)采樣時間:低分辨率(7幅數(shù)據(jù)圖像):93 ms,高分辨率(13幅數(shù)據(jù)圖像):173 ms

環(huán)境要求:

◆溫度 :15°C-30°C(60°F-95°F)

◆溫度變化率: <1.0°C/15min

◆濕度 :相對濕度5% - 95% , 無凝結(jié)

◆防震: 需要隔離1-120Hz的震動



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