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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司


15L晶圓刻蝕機(jī)

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產(chǎn)品型號TS-PL15MA

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更新時(shí)間:2022-11-21 16:35:17瀏覽次數(shù):228次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介: 晶圓刻蝕

詳細(xì)介紹

晶圓刻蝕機(jī)高配版:TS-PL15MA/P


1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調(diào),可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制:MFC質(zhì)量流量計(jì), 0-500ml   2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8. 控制方式:7寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置:配備3個(gè)卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置


晶圓刻蝕機(jī)標(biāo)配版:TS-PL15MA

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調(diào),可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制:精密針閥式浮子流量計(jì), 0-1000ml   2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長600mm*寬600mm*高700mm
11.電極板配置:配備3個(gè)卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置

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