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等離子刻蝕機(jī)

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更新時間:2023-01-08 12:40:00瀏覽次數(shù):436次

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產(chǎn)品簡介

等離子刻蝕機(jī)是等離子表面處理工藝中非常重要的應(yīng)用之一,在等離子刻蝕過程中,由通入真空腔體里的工藝氣體產(chǎn)生高能的反應(yīng)離子與工件表面發(fā)生物理轟擊和化學(xué)反應(yīng),最終工件表面的材料被分解為揮發(fā)性的分子,被抽真空系統(tǒng)抽走

詳細(xì)介紹

等離子刻蝕機(jī)是等離子表面處理工藝中非常重要的應(yīng)用之一,在等離子刻蝕過程中,由通入真空腔體里的工藝氣體產(chǎn)生高能的反應(yīng)離子與工件表面發(fā)生物理轟擊和化學(xué)反應(yīng),最終工件表面的材料被分解為揮發(fā)性的分子,被抽真空系統(tǒng)抽走。此工藝可蝕刻掉工件表面整個或部分面積,具有良好的各向異性和工藝可控性。我們的等離子刻蝕機(jī)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片、IC封裝、微電子產(chǎn)品制造等領(lǐng)域。我們不但提供等離子刻蝕機(jī)同時也提供等離子刻蝕工藝解決方案。

等離子刻蝕機(jī) - 北京圣德威

等離子刻蝕機(jī)
  • 樣片數(shù)量及尺寸:1片Ф6英寸
  • 刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等
  • 刻蝕不均勻性:±3%-±6%
  • 刻蝕速率:0.1-4μm/min(視具體材料與工藝)
  • 工作臺:可升降,包含水冷
  • 電源配置:下電極偏壓,包含自動匹配
  • 氣路數(shù)量與種類:4路防腐蝕氣路
  • 操作模式:全自動+半自動控制
等離子刻蝕機(jī) - 北京圣德威

關(guān)鍵詞:刻蝕機(jī) 工作臺
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