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臺(tái)階儀(輪廓儀)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

性能指標(biāo)掃描時(shí)最小正壓力:0.03mg(軟件可編程選擇和自動(dòng)控制,無需手動(dòng))

詳細(xì)介紹

性能指標(biāo)

  1. 掃描時(shí)最小正壓力: 0.03mg (軟件可編程選擇和自動(dòng)控制,無需手動(dòng)) 。
  2. 一臺(tái)設(shè)備需具有大量程和小量程雙探測(cè)器的新設(shè)計(jì),即在大量程1.2mm選件時(shí)不丟失儀器的分辨率0.38 ?和精度5 ?(1μm臺(tái)階標(biāo)樣)。
  3. 垂直分辨率: 0.38 ?。
  4. Z測(cè)量重復(fù)精度:保證 5? 重復(fù)性(1 μm臺(tái)階標(biāo)樣) 均在0.03 mg超微力下,2 μm探針及無防震臺(tái)下驗(yàn)收。
  5. 垂直測(cè)量范圍: 1200 μm。
  6. 樣品需具有雙向掃描測(cè)量的功能,方便定位和掃描。
  7. 采樣點(diǎn)數(shù)400,000。
  8. 線性掃描方式,無需校正拋物線型; 掃描長(zhǎng)度50 μm-55 mm可以拼接掃描200 mm;掃描速度0.01-0.4 mm/s。

主要應(yīng)用

  1. 半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度, 臺(tái)階高度及坑深 

樣品要求

  1. 不能被測(cè)試的樣品種類: 表面被嚴(yán)重污染的樣品;表面含有疏松物質(zhì)的樣品;表面有粘稠物質(zhì)的樣品;有化學(xué)毒性和生物毒性的樣品;含有未反應(yīng)單體的高分子材料。
  2. 樣品外形/尺寸/臺(tái)階或坑深: (1) 片狀或塊狀:尺寸大小直徑應(yīng)小于15 cm,高度應(yīng)小于25 mm; (3) 坑深及臺(tái)階高度范圍:10 nm-1200 μm; 凹坑的寬深比必須超過1;
  3. 送樣時(shí)注意事項(xiàng): (1) 送樣品時(shí),請(qǐng)附送打印的預(yù)約單; (2) 待測(cè)樣品表面事先使用高純水或有機(jī)試劑超聲清洗,或采用高純氮?dú)獯祾邩悠繁砻娴姆绞饺コ砻娓街念w粒灰塵; (3) 使用帶蓋的清潔玻璃器皿盛裝剛剛清潔過的樣品; 或?qū)⑶鍧嵾^的樣品用干凈鋁箔包裹后放入清潔塑料袋。不建議使用紙袋盛裝樣品,以免紙上的纖維污染樣品表面; (4) 可以采取在待測(cè)表面的背面畫上“X”的方式標(biāo)記出測(cè)試面。樣品袋上或器皿背面請(qǐng)標(biāo)上送樣人姓名和; (5) 在預(yù)約單上,務(wù)必寫明分析測(cè)試的要求,如:待測(cè)臺(tái)階高度,或凹坑深度;盡可能提供樣品的待測(cè)結(jié)構(gòu)及其尺度范圍,以及待測(cè)結(jié)構(gòu)在樣品表面的大概位置等信息。

儀器說明

  1. 設(shè)備名稱:臺(tái)階儀。臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器,其測(cè)量原理是:當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷或者凹坑,觸針在滑行的同時(shí)沿測(cè)試樣品表面作上下運(yùn)動(dòng),觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。

關(guān)鍵詞:玻璃器皿 臺(tái)階儀
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