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北京中海遠創(chuàng)材料科技有限公司


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P-17臺階儀(臺式探針式輪廓儀)

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產(chǎn)品型號

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更新時間:2023-01-04 15:27:21瀏覽次數(shù):749次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述P-17臺式探針式輪廓儀是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶

詳細介紹

產(chǎn)品描述

P-17臺式探針式輪廓儀是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,程序設(shè)置簡便快速。P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

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主要功能

·        臺階高度:幾納米至1000μm

·        微力恒力控制:0.0350mg

·        樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

·        視頻500萬像素高分辨率彩色攝像機

·        圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·        軟件:簡單易用的軟件界面

·        生產(chǎn)能力:通過測序,模式識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化


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主要應(yīng)用

·        臺階高度:2D3D臺階高度

·        紋理:2D3D粗糙度和波紋度

·        形狀:2D3D翹曲和形狀

·        應(yīng)力:2D3D薄膜應(yīng)力

·        缺陷復(fù)檢:2D3D缺陷表面形貌

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工業(yè)應(yīng)用

·        大學、研究實驗室和研究所

·        半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

·        LED發(fā)光二極管

·        太陽能

·        MEMS微機電系統(tǒng)

·        數(shù)據(jù)存儲

·        汽車

·        醫(yī)療設(shè)備

·        更多信息,請與我們聯(lián)系以滿足您的要求


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提供選項

P-17 OF(開放式框架)與P-17的功能相同,但其框架更大因而允許加載更大的樣本。該系統(tǒng)可配置成300mm晶圓或240 x 240mm卡盤。

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關(guān)鍵詞:輪廓儀 傳感器
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