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滑動式PECVD設(shè)備

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更新時間：2022-09-06 11:00:06瀏覽次數(shù)：365次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  管式爐
  化學(xué)氣相沉積/PECVD系統(tǒng)

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鄭州諾泰科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：6條

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產(chǎn)品簡介

滑動式PECVD設(shè)備是應(yīng)用于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜的一款新的探索工具。

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：
該設(shè)備是一款帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動PECVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，預(yù)熱爐，滑動式管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和旋片泵組成?？捎糜谏L納米或CVD方法來制作各種薄膜。
產(chǎn)品用途：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。是應(yīng)用于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜的一款新的探索工具。
技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	帶預(yù)熱系統(tǒng)滑動式PECVD設(shè)備
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號	PT-T1200-S06LC
爐管尺寸	60*長度1600mm 可選其他直徑Φ50，80，100，120，150mm
爐管材質(zhì)	石英管
加熱區(qū)	雙溫區(qū)，每個溫區(qū)長度200mm
工作溫度	1100℃
溫度	1200℃
溫控方式	K型熱電偶
控制方式	觸屏控制
控溫精度	±1℃
溫控保護	具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率	0-20ºC/min可調(diào) ，建議10ºC/min
加熱元件	含鉬電阻絲
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制）
加熱功率	3KW
爐膛材料	氧化鋁多晶纖維
爐體結(jié)構(gòu)	爐體帶滑軌，可實現(xiàn)快速升溫和降溫
法蘭接頭	標配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。
預(yù)熱爐
主要參數(shù)	溫度1100度，多段程序控溫，可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
真空系統(tǒng)部分
主要參數(shù)	采用機械，可實現(xiàn)爐管內(nèi)的真空
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質(zhì)量流量計（量程可選）
等離子電源部分
功率范圍	0-500W（連續(xù)可調(diào)）
售后服務(wù)	質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍）
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