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廣州競(jìng)贏科學(xué)儀器有限公司


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JYSC-1000鍍膜儀（離子濺射儀）

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JYSC-1000鍍膜儀（離子濺射儀）此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜（如金膜）或材料鍍膜，儀器性能穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單方便。采用磁控冷態(tài)濺射，基本不升溫，保護(hù)樣品。 分類： 電鏡制樣設(shè)備, 鍍膜儀 標(biāo)簽： 噴金儀, 離子濺射儀, 鍍膜儀 Brand:廣州競(jìng)贏

詳細(xì)介紹

描述

此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜（如金膜）或材料鍍膜，儀器性能穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單方便。采用磁控冷態(tài)濺射，基本不升溫，保護(hù)樣品。

主要特點(diǎn)：

  • 真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；
  • 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識(shí)；
  • 真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；
  • 控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；
  • 磁控冷態(tài)濺射，基本不升溫，保護(hù)樣品；

技術(shù)參數(shù)：

  1. 真空室：Φ150mm,高度110mm;
  2. 試樣臺(tái)尺寸：Φ60mm,
  3. 金靶尺寸：Φ50mm;
  4. 真空系統(tǒng)：抽速8m3/h；
  5. 真空檢測(cè)：定制皮氏計(jì)，配合真空指針表，靈敏可靠；
  6. 排氣方式：自動(dòng)；
  7. 濺射時(shí)間：0－1000秒可連續(xù)設(shè)置。
  8. 真空室工作氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣節(jié)；
  9. 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd，Pt，Pt/Pd，Cu，Ag等，靶材更換快速方便
  10. 主機(jī)尺寸：約450×330×235mm

關(guān)鍵詞：離子濺射儀 真空泵
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