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探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。 通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要技術(shù)參數(shù)
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1.臺(tái)階高度：幾納米至1200μm
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2.低觸力：0.03至15mg
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3.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
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4.梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
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5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
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6.緊湊尺寸：最小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀
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7.軟件：用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
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1.臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度
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2.紋理：2D粗糙度和波紋度
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3.形式：2D翹曲和形狀
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4.應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用領(lǐng)域
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1.大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
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2.半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
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3.SIMS：二次離子質(zhì)譜
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4.LED：發(fā)光二極管
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5.太陽能
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6.MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
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7.汽車
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8.醫(yī)療設(shè)備
實(shí)例展示
臺(tái)階高度
紋理：粗糙度和波紋度
形式：翹曲和形狀
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-500能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。
- Alpha-Step D-500 Stylus Profiler 選項(xiàng)可供選擇，配合您的新產(chǎn)品，或后續(xù)使用。
探針選項(xiàng)
Alpha-Step D-500有多種探針可用于支持臺(tái)階高度、高縱橫比步長(zhǎng)、粗糙度、樣品翹曲和應(yīng)力的測(cè)量。 探針半徑范圍從100nm到50μm，并決定了測(cè)量的橫向分辨率。 夾角范圍為20到100度，決定了測(cè)量特征的縱橫比。 所有探針均采用金剛石制造，以減少磨損并延長(zhǎng)探針的使用壽命。
樣品卡盤
Alpha-Step D-500具有一系列可用于支持應(yīng)用要求的卡盤。 標(biāo)準(zhǔn)卡盤為鍍鎳鋁卡盤，可以處理至140mm的樣品。 一個(gè)扁平的黑色卡盤可用于透明樣品，限度地減少卡盤表面的反光。 并且提供通用的真空卡盤并包括用于50mm至125mm樣品的精密定位銷。 標(biāo)準(zhǔn)和通用卡盤均支持應(yīng)力測(cè)量，并使用3點(diǎn)定位器將樣品保持在中性位置，進(jìn)行精確的翹曲度測(cè)量。
隔離工作臺(tái)
Alpha-Step D-500具有桌面和獨(dú)立隔離臺(tái)選項(xiàng)。 Granite Isolator™系列提供桌面隔離系統(tǒng)，將花崗巖與高級(jí)硅凝膠結(jié)合在一起，提供被動(dòng)隔離。 Onyz系列桌面隔離系統(tǒng)使用氣動(dòng)空氣隔離裝置來提供被動(dòng)隔離。 TMC 63-500系列隔離臺(tái)是一個(gè)獨(dú)立的鋼架工作臺(tái)，使用氣動(dòng)空氣隔離裝置提供被動(dòng)隔離。
臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)
Alpha-Step D-500采用VLSI標(biāo)準(zhǔn)提供的薄膜和厚膜NIST可追蹤臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)。 該標(biāo)準(zhǔn)提供安裝在石英塊上的硅芯片上的氧化物臺(tái)階功能。臺(tái)階高度的測(cè)量范圍是8nm至250μm。
Apex分析軟件
Apex分析軟件通過水平、過濾、臺(tái)階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴(kuò)展套件，增強(qiáng)了D-500的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計(jì)算方法以及例如ASME的本地標(biāo)準(zhǔn)。 Apex還可用作報(bào)告編寫平臺(tái)，具有添加文本、注釋和是/否合格的功能。 Apex有八種語言的版本。
離線分析軟件
Alpha-Step D-500離線軟件具有與設(shè)備軟件相同的數(shù)據(jù)分析功能。 這使用戶無需使用寶貴的設(shè)備時(shí)間即可進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。
