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臺(tái)階儀 探針式輪廓儀 膜厚儀 P17

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更新時(shí)間:2022-11-03 15:13:37瀏覽次數(shù):667次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

臺(tái)階儀 探針式輪廓儀 膜厚儀 P17

詳細(xì)介紹

P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀,是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界,支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái),因而具備出色的測(cè)量穩(wěn)定性。 通過點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測(cè)量。 并通過圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。

P-17設(shè)備是正真可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化多點(diǎn)測(cè)量的設(shè)備,是工藝提升的必要工具!

主要技術(shù)參數(shù)

  • 1.重復(fù)性:≤4A (0.01%)
  • 2.垂直分辨率:0.01A
  • 3.水平分辨率(X): 0.025um
  • 4.水平分辨率(Y):0.5um
  • 5.采樣率(點(diǎn)):4,000,000
  • 6.垂直線性度: ±0.5%>2000A
  • 7.針壓范圍:0.03~50mg
  • 8.量測(cè)長(zhǎng)度:200mm(無需拼接)
  • 9.掃描速度:2um/s-25mm/s

主要功能

  • 1.臺(tái)階高度:幾納米至1000μm
  • 2.微力恒力控制:0.03至50mg
  • 3.樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
  • 4.視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)
  • 5.圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
  • 6.軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面
  • 7.生產(chǎn)能力:通過測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

主要應(yīng)用

臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度

  • 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀:2D和3D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

  • 缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

  • 1.大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

  • 2.半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  • 3.LED:發(fā)光二極管

  • 4.太陽能

  • 5.MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

  • 6.數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

  • 7.汽車

  • 8.醫(yī)療設(shè)備

關(guān)鍵詞:輪廓儀 傳感器
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