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臺階儀 探針式輪廓儀 膜厚儀 P17

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更新時間：2022-11-03 15:13:37瀏覽次數(shù)：645次

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產(chǎn)品簡介

臺階儀 探針式輪廓儀 膜厚儀 P17

詳細(xì)介紹

P-17是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

P-17設(shè)備是正真可以實現(xiàn)自動化多點測量的設(shè)備，是工藝提升的必要工具！

主要技術(shù)參數(shù)

  • 1.重復(fù)性：≤4A （0.01%）
  • 2.垂直分辨率：0.01A
  • 3.水平分辨率（X): 0.025um
  • 4.水平分辨率（Y):0.5um
  • 5.采樣率(點)：4,000,000
  • 6.垂直線性度： ±0.5%＞2000A
  • 7.針壓范圍：0.03~50mg
  • 8.量測長度：200mm（無需拼接）
  • 9.掃描速度：2um/s-25mm/s

主要功能

  • 1.臺階高度：幾納米至1000μm
  • 2.微力恒力控制：0.03至50mg
  • 3.樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
  • 4.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)
  • 5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
  • 6.軟件：簡單易用的軟件界面
  • 7.生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

主要應(yīng)用

臺階高度：2D和3D臺階高度

  • 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀：2D和3D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

  • 缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

  • 1.大學(xué)、研究實驗室和研究所

  • 2.半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  • 3.LED：發(fā)光二極管

  • 4.太陽能

  • 5.MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

  • 6.數(shù)據(jù)存儲

  • 7.汽車

  • 8.醫(yī)療設(shè)備

關(guān)鍵詞：輪廓儀 傳感器
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