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光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/MicroXAM-800 Optical Profiler

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產(chǎn)品型號MicroXAM-800

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更新時間：2022-12-03 14:48:08瀏覽次數(shù)：586次

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產(chǎn)品簡介

光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/MicroXAM-800OpticalProfilerMicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學(xué)輪廓儀，采用相位掃描干涉技術(shù)（PSI）對納米級特征進行測量，以及采用垂直掃描干涉技術(shù)（VSI）對亞微米至毫米級特征進行測量

詳細(xì)介紹

光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/MicroXAM-800 Optical Profiler

MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學(xué)輪廓儀，采用相位掃描干涉技術(shù)（PSI）對納米級特征進行測量，以及采用垂直掃描干涉技術(shù)（VSI）對亞微米至毫米級特征進行測量。 MicroXAM-800的程序設(shè)置簡單靈活，可以進行單次掃描或多點自動測量，適用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境。

產(chǎn)品描述

MicroXAM-800光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統(tǒng)的相干掃描干涉技術(shù)（CSI）。MicroXAM進一步擴展了這些技術(shù)，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設(shè)置，并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對大臺階高度進行高速測量。

MicroXAM測量技術(shù)的優(yōu)勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無關(guān)，因而能夠在大視野范圍內(nèi)進行高分辨率測量。測量區(qū)域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結(jié)果而進一步增加。 MicroXAM的用戶界面創(chuàng)新而簡單，適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。