污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過(guò)濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過(guò)濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
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更新時(shí)間：2022-10-31 14:54:07瀏覽次數(shù)：363次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線碳化硅外延生長(zhǎng)爐主要用于石墨盤(pán)或碳化盤(pán)的碳化硅外延生長(zhǎng)制備
采用*的控制技術(shù)，能精密控制MTS/MS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)?。?/span>
多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。
| 參數(shù)/型號(hào) | HCVD-101015-SiC | HCVD-152023-SiC | VCVD-0608-SiC | VCVD-0612-SiC | VCVD-0812-SiC | VCVD-1120-SiC | VCVD-1218-SiC | VCVD-1520-SiC |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
| 溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開(kāi)門(mén)/門(mén)；立式-上出料/下出料
爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC
熱電偶：C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
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