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青島佳鼎分析儀器有限公司
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更新時間：2023-07-14 19:07:53瀏覽次數(shù)：325次
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二手刻蝕機現(xiàn)貨供應MATRIX SYSTEM ONE 106，1995年設備，可對4-6英寸的晶圓進行蝕刻工藝加工。
制造商:MATRIX
型號:SYSTEM ONE 106
類別:ETCHERS / ASHERS
年份:1995
晶圓尺寸:4"-6"
設備詳細信息:
自動光刻膠剝離器，4“-6"
單晶片
單盒
微處理器控制的自動光刻膠剝離機
射頻功率
溫度
氣流
基板位置
交錯電極組件
蝶閥
相位幅度檢測器
閉環(huán)控制
整體晶圓冷卻站
卡盤溫度的閉環(huán)控制
（2） 質量流量控制器（MFC）：1x5 SLPM和1x300 SCCM
晶圓銷提升組件（上下）
范圍：
鋼帶：150°C-250°C（±5°C）
溫度：100攝氏度-150攝氏度（±5攝氏度）
1995年份。
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